XP-703D半導體特氣檢漏儀

描述：XP-703D半導體特氣檢漏儀特點：

? Z適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。

? 采用聲光報警。

規格：

型號

XP-703D

檢測對象氣體

半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）

檢測原理

型半導體式

采樣方式

自動吸引式

可檢測濃度

（單位：ppm）

砷烷磷烷乙

產品型號：
廠商性質：生產廠家
更新時間：2025-09-08
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產品介紹/ PRODUCT PRESENTATION

XP-703D半導體特氣檢漏儀 特點：

¬ 于檢測半導體特氣的微量泄漏。

¬ 采用聲光報警。

XP-703D半導體特氣檢漏儀 規格：

型號	XP-703D
檢測對象氣體	半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）
檢測原理	型半導體式
采樣方式	自動吸引式
可檢測濃度（單位：ppm）	砷烷磷烷乙硼烷硅烷氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示	蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍
應答速度	10秒以內

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